IMMS-Positionierungssystem gewinnt Silber für Subnanometer-Präzision in Thüringen
Pierre BaumIMMS-Positionierungssystem gewinnt Silber für Subnanometer-Präzision in Thüringen
Neues Positionierungssystem des IMMS mit Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen ausgezeichnet
Ein am Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) entwickeltes Positionierungssystem hat eine Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen gewonnen. Die als IMMS-System bezeichnete Erfindung erreicht eine Präzision im Subnanometerbereich – ein Durchbruch für Branchen, die auf ultrafeine Messungen angewiesen sind. Sein Entwickler, Alex Huaman, konzipierte die Technologie, um den Anforderungen der modernen Fertigung gerecht zu werden.
Das patentierte System mit dem Titel "Positionierungssystem mit einer Steuerung und Verfahren zu dessen Konfiguration" wurde von PATON beim iENA-Wettbewerb in Nürnberg eingereicht. Es zeichnet sich durch seine Fähigkeit aus, selbst bei schnellen, dynamischen Bewegungen extreme Genauigkeit zu gewährleisten. Ermöglicht wird dies durch ein Steuerungskonzept mit einem optimierten dynamischen Beobachter, der die Antriebspräzision unter wechselnden Bedingungen deutlich verbessert.
Kern der Innovation ist ein Störgrößenbeobachter, der störende Kräfte und Momente in Echtzeit berechnet und es dem System ermöglicht, Fehler zu kompensieren, bevor sie auftreten. Das Ergebnis ist ein hochempfindliches, mehrkoordiniertes Direktantriebssystem, das über große Bewegungsbereiche hinweg präzise arbeitet.
Dr.-Ing. Ludwig Herzog, Leiter der Abteilung Mechatronik am IMMS, verantwortete die technische Entwicklung. Beate Hövelmans, Leiterin der Unternehmenskommunikation, betonte die Bedeutung des Systems für die heutige Technologieindustrie, die zunehmend auf Maschinen angewiesen ist, die Manipulationen im Nanometerbereich ermöglichen.
Die Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen würdigt das Potenzial des IMMS-Patents, die Präzisionstechnik voranzubringen. Durch seine Echtzeit-Kompensation und Subnanometer-Genauigkeit löst es zentrale Herausforderungen in Bereichen wie der Halbleiterfertigung und Mikrobearbeitung. Die Technologie ist nun bereit für eine breitere Einführung in der Hochtechnologie-Produktion.






